林香祝 薛玉娥
TG174.44
本文对比较常用的薄膜厚度的监控和测量方法进行详述,并就各种方法进行比较。
林香祝 薛玉娥.薄膜厚度监测[J].稀有金属材料与工程,1989,(2).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1989,(2).]DOI：[doi]