兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室,甘肃 兰州 730000
甘肃省自然科学基金(23JJRA1355), 2023年兰州市创新项目 (2023-QN-22),,国家自然科学基金项目(面上项目,重点项目,重大项目)62171208
Science and Technology on Vacuum Technology and Physics Laboratory, Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou 730000, China
National Natural Science Foundation of China (62171208); Natural Science Foundation of Gansu Province (23JRRA1355)
周超,李得天,马占吉,李刚,何延春,杨拉毛草.磁控溅射气体对
DOI:10.12442/j. issn.1002-185X.20240265