离子溅射技术作为一种涂层工艺方法,特别适合沉积润滑涂层、耐磨涂层、太阳能选择吸收涂层和非晶态抗腐蚀涂层;此外,还能沉积薄板,箔和管等非标准件及优质超导材料,在工业上已获得了越来越广泛的应用。
龙克昌.离子溅射技术在涂层工艺中的应用[J].稀有金属材料与工程,1984,(3).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1984,(3).]DOI：[doi]