当前微电子元件装置和计算机部件都正朝小型化发展,并已降低到亚微米级尺寸。根据这种情况,特别需要纳米级的金属材料,为此美国华盛顿洲海军研究试验室研究出通过热分解非晶硅基体表面上的四-(三氟化磷化氢)-Pt初级粒子方法生产出<20 nm厚、700 nm
.纳米级铂材的生产技术[J].稀有金属材料与工程,1993,(6).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1993,(6).]DOI：[doi]