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Ti-Si-N纳米复合超硬薄膜的高温热稳定性
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TG146.4

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Thermal Stability of Ti-Si-N Super Hard Nanocomposite Coatings
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    用脉冲直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法在高速钢(HSS)基体上制备了Ti—Si-N薄膜,重点从不同温度退火后薄膜相结构、晶粒尺寸和显微硬度的变化等方面,探讨了不同Si含量的Ti-Si-N薄膜的高温热稳定性。结果表明:Ti-Si-N薄膜在900℃以内退火处理后,晶粒尺寸和显微硬度并无明显突变,尤其是Si含量较低时,在800℃,晶粒尺寸和显微硬度几乎没有变化,表明Ti-Si-N薄膜具有非常良好的高温热稳定性,这可能与薄膜相形成在高温下仍为调幅分解有关。

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引用本文

徐建华 马大衍 马胜利 徐可为. Ti-Si-N纳米复合超硬薄膜的高温热稳定性[J].稀有金属材料与工程,2005,34(11):1778~1781.[Xu Jianhua, Ma Dayan, Ma Shengli, Xu Kewei. Thermal Stability of Ti-Si-N Super Hard Nanocomposite Coatings[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2005,34(11):1778~1781.]
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  • 收稿日期:2004-07-12
  • 最后修改日期:2005-07-28
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