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柔性衬底ITO透明导电薄膜的光电性能研究
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TG174.444

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国家自然科学基金重点项目(90305026)及中国工程物理研究院双百人才基金(2005R0504)资助.


Study on Electrical and Optical Properties of Flexible Transparent Conductive ITO Film
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    利用直流磁控溅射方法在柔性聚酯薄膜衬底上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,采用X射线衍射、紫外.可见分光光度计、四探针电阻测量仪等测试手段对薄膜样品进行表征,研究了氧含量、薄膜厚度、村底负偏压对ITO薄膜的晶体结构和光电性能的影响,优化了柔性衬底ITO薄膜的制备工艺条件。制得样品的最佳可见光平均透过率为85.6%,方块电阻为6Ω/口。

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引用本文

孙裔 刁训刚 杨盟 武哲 舒远杰.柔性衬底ITO透明导电薄膜的光电性能研究[J].稀有金属材料与工程,2007,36(1):86~90.[Sun Yi, Diao Xungang, Yang Meng, Wu Zhe, Shu Yuanjie. Study on Electrical and Optical Properties of Flexible Transparent Conductive ITO Film[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2007,36(1):86~90.]
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  • 最后修改日期:2006-01-11
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