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GaAs基GaSb薄膜的分子束外延生长与发光特性
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中图分类号:

TN304.055

基金项目:

国家自然科学基金(50272019)及国家高技术研究发展计划(“863”计划)项目资助(2003AA305860)


MBE Growth and Luminescence Property of GaSb Thin Film Based on GaAs
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    摘要:

    研究了用分子束外延(MBE)在GaAs衬底上生长GaSb薄膜的工艺。为了减小因晶格失配度较大所引起的位错密度,采用低温GaSb作为缓冲层,有效降低了外延层中的位错密度,提高了晶体质量。通过X射线双晶衍射仪和原子力显微镜测试分析,得到低温GaSb缓冲层的优化生长参数:厚度为20nm,生长速率为1.43μm/h,Ⅴ/Ⅲ束流比为2.0。并在此基础上研究了GaSb薄膜的发光特性:GaSb薄膜的光致发光光谱主要由束缚激子(BE4)和施主-受主对(D-A)辐射复合发光峰组成,在50K时其发光峰强度最强,半峰宽最窄。

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引用本文

熊丽 李美成 邱永鑫 张保顺 李林 刘国军 赵连城. GaAs基GaSb薄膜的分子束外延生长与发光特性[J].稀有金属材料与工程,2007,36(2):339~343.[Xiong Li, Li Meicheng, Qiu Yongxin, Zhang Baoshun, Li Lin, Liu Guojun, Zhao Liancheng, Weihai, China;. Harbin Institute of Technology, Harbin, China;. Changchun University of Science, Technology, Changchun, China). MBE Growth and Luminescence Property of GaSb Thin Film Based on GaAs[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2007,36(2):339~343.]
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  • 最后修改日期:2005-11-30
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