钯-铂双层覆膜聚酰亚胺的CECVD制备与表征

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钯-铂双层覆膜聚酰亚胺的CECVD制备与表征
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中图分类号:O433.4 O614.82
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Preparation and Characterization of Palladium-Platinum Bilayer Films on Polyimide by Catalyst-Enhanced CVD

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以N2、O2作载气,采用催化增强化学气相沉积(CECVO)法,于250～300℃和减压/常压下制得沉积于聚酰亚胺(PI)上的Pt,Pd/Pt和Pt/Pd金属双层薄膜.当使用Pd(hfac)2和Pt(COD)Me2为前驱体,在同一反应器内共沉积时只有Pt被沉积(钯配合物起催化剂作用),金属铂、钯顺序沉积可形成双层膜.经XPS和SEM分析了所得沉积膜的表面结构与相组成.结果表明:所有沉积层与PI衬底的粘附性能良好;沉积速率为70～80nm/h,钯、铂粒径分别为100nm和100～150nm.

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郑建华,冯文芳,周锦兰,田熙科,俞开潮.钯-铂双层覆膜聚酰亚胺的CECVD制备与表征[J].稀有金属材料与工程,2008,37(5):918~921.[Zheng Jianhua, Feng Wenfang, Zhou Jinlan, Tian Xike, Yu Kaichao. Preparation and Characterization of Palladium-Platinum Bilayer Films on Polyimide by Catalyst-Enhanced CVD[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2008,37(5):918~921.]
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