痕量杂质元素的高效精准测定是高品质钛及钛合金稳定生产的核心保障技术。针对现有检测方法存在的钛合金中痕量杂质元素检测方法的空白，采用电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS），通过优化电感耦合等离子体质谱仪工作参数，系统研究了检测用同位素种类、溶样方法以及内标元素对测试精准度的影响规律，建立了钛及钛合金中痕量汞和钇的检测方法。结果表明：所建立的检测方法对于汞和钇含量为0.10～100.0ng/mL的样品，其线性相关系数高于0.999，汞和钇的检出限分别为0.07 ng/mL和0.06 ng/mL，样品的加标回收率在97.0%～102.2%之间。该检测方法灵敏度高、结果准确，可以满足高品质钛及钛合金中痕量汞和钇的高效精准测定。